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v 產品類型:有立式單腔,雙腔晶圓甩干機(2-12寸),水平多工位甩干機(2-12寸)
v 單次甩干數量1-25塊
v 作業(yè)程序:沖洗、烘干的步驟順序、時間、 轉速等可分段編輯,(可設 recipe 為 10 個)
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